WEKO3
アイテム
高精度微細パターン設計技術の研究
https://doi.org/10.24729/00017119
https://doi.org/10.24729/00017119d49bcbc0-e381-4adb-8d1e-77773861fa99
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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公開日 | 2020-10-30 | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | 高精度微細パターン設計技術の研究 | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | jpn | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
ID登録 | ||||||||
ID登録 | 10.24729/00017119 | |||||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||||
アクセス権 | ||||||||
アクセス権 | open access | |||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
著者 |
三坂, 章夫
× 三坂, 章夫
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内容記述 | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | 学位記番号:論工第1593号, 指導教員:平井 義彦 | |||||||
フォーマット | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | application/pdf | |||||||
著者版フラグ | ||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
学位名 | ||||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||||
学位授与機関 | ||||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
学位授与機関識別子 | 24403 | |||||||
学位授与機関名 | Osaka Prefecture University (大阪府立大学) | |||||||
学位授与年月日 | ||||||||
学位授与年月日 | 2020-09-25 | |||||||
学位授与番号 | ||||||||
学位授与番号 | 甲第2005号 |