WEKO3
アイテム
高精度微細パターン設計技術の研究
https://doi.org/10.24729/00017119
https://doi.org/10.24729/00017119d49bcbc0-e381-4adb-8d1e-77773861fa99
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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2020990003 (7.3 MB)
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論文要旨および学位論文審査結果要旨 (148 KB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2020-10-30 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 高精度微細パターン設計技術の研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.24729/00017119 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| 著者 |
三坂, 章夫
× 三坂, 章夫
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| 内容記述 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 学位記番号：論工第1593号, 指導教員：平井 義彦 | |||||||
| フォーマット | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||
| 出版タイプ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 24403 | |||||||
| 学位授与機関名 | Osaka Prefecture University (大阪府立大学) | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2020-09-25 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第2005号 | |||||||
